MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Àº ¹Ì±¹ MKS Instruments, Inc.ÀÇ TYPE 146 Series ÄÁÆ®·Ñ·¯¿Í Åë½ÅÀ» À§ÇÑ µå¶óÀ̹öÀÌ´Ù.
<±×¸² 1>Àº MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Åë½Å¼³Á¤ ¿¹ÀÌ´Ù.
<±×¸² 1> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement µå¶óÀ̹öÀÇ Åë½Å ¼³Á¤ ¿¹
<±×¸² 1>ÀÇ µð¹ÙÀ̽º ¼³Á¤Àº ¿¬°áµÈ Åë½ÅÆ÷Æ®( COM1 ), Åë½Å¼Óµµ( 9600 ), Æи®Æ¼ºñÆ®( 2 ), µ¥ÀÌÅͺñÆ®( 7 ), Á¤ÁöºñÆ®( 1 ) ¼øÀ¸·Î Àåºñ¿¡ ¼³Á¤µÈ °ªÀ» ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.
¶ÇÇÑ ¿É¼Ç ºÎ¿¡´Â »ç¿ëÇÏ´Â ÇÁ·ÎÅäÄÝÀÌ BCC üũ »ç¿ë¿©ºÎ(0 = »ç¿ë¾ÈÇÔ, 1 = »ç¿ë, ±âº» = 0)À» ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.
Âü°í) MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ Åë½Å¼Óµµ(300 ~ 9600), µ¥ÀÌÅͺñÆ®(7, 8), Æи®Æ¼ºñÆ®(0, 1, 2)´Â Àåºñ ¾Õ¸éÀÇ Á¶ÀÛ ½ºÀ§Ä¡¸¦ ¼³Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
MKS 146 Vacuum Gauge MeasurementÀÇ µå¶óÀ̹öÀÇ Àбâ ÀÛ¼º Çü½Ä
MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àбâ ÀÛ¼º Çü½ÄÀº ´ÙÀ½°ú °°Àº ÀÎÀÚ ¼øÀ¸·Î ÀÛ¼ºÇÑ´Ù.
1) ÀåºñÀÇ ½ºÅ×ÀÌ¼Ç – »ç¿ë¾ÈÇÔ.
2) Àб⠸í·É¾î ¹× ä³Î – 601x, 602x, 603x, 604x, 605x, 606x, 6071, 608x, 6091, 60A*, 60B*, 60C1, 60D1, 60E1, 60F1,
7011, 7021, 7031, 7041, 7051, 7061.
(¿©±â¼ x = 1, 2, 3, 4, 5, 6 ÁßÀÇ Ã¤³Î ¹øÈ£, * = A, B, C, D ÁßÀÇ Parameter, <Ç¥ 1> ÂüÁ¶)
3) ÀÐÀ» ½ÃÀÛ¹øÁö – »ç¿ë¾ÈÇÔ.
4) Åë½Å ¸Þ¸ð¸® ÀúÀå À§Ä¡ - ÀÐÀº °ªÀÌ ÀúÀåµÉ Åë½Å ¸Þ¸ð¸® ½ÃÀÛ¹øÁö.
5) ÀÐÀ» Å©±â – Çѹø¿¡ ÀÐÀ» µ¥ÀÌÅÍÀÇ Å©±â. 1·Î °íÁ¤. (ÀÐÀ» Á¾·ù¿¡ µû¶ó Á¤ÇØÁ® ÀÖÀ½)
Àб⠼³Á¤ ¿¹)
READ, 0, 6014, 0, 0, 1,
READ, 0, 6074, 0, 2, 1,
READ, 0, 7061, 0, 10, 1,
<Ç¥ 1>Àº MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àб⠸í·É¾î º° ÀÐÀº °ª ÀúÀå À§Ä¡ ¹× ³»¿ëÀÌ°í <Ç¥ 2> ´Â 6091(Power Up Status)¸í·É¾î ÀÐÀº °ªÀÇ ºñÆ® º° ÀǹÌÀÌ´Ù.
¸í·É¾î Á¾·ù | ³» ¿ë | ÀúÀå À§Ä¡ ¹× ³»¿ë | ºñ °í |
601x | Channel Pressure | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : ¾Ð·Â °ª | X = 1 ~ 6 »çÀÌÀÇ Ã¤³Î ¹øÈ£¸¦ ÀÔ·Â |
602x | Channel Pressure with Time Stamp | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : ÀÐÀº
½Ã°£, (10 mSec´ÜÀ§) ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : ¾Ð·Â °ª |
|
603x | Channel Voltage | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Àü¾Ð °ª | |
604x | Ion Current | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Ion Àü·ù °ª | |
605x | Emission Current | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Emission Àü·ù °ª | |
606x | Pressure Leak Rate | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Leak Rate °ª | |
6071 | Analog Set Point | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Analog Set Point °ª | ¸í·É¾î ¸¶Áö¸· ¹®ÀÚ´Â 1 ¶Ç´Â ÀÓÀÇÀÇ ¹®ÀÚ |
608x | Channel Condition | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : ä³Î
»óÅ °ª ( 0=ON, 1=Low Power Defas, 2=Underranged, 3=Overranged, 4=Manually Off, 5=Auto Off, 6=High Power Degas, 7=Initializing, 8=Zeroing, 9=Bad Sensor, 10=DisConnected, 11=Channel Not Installed ), ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : ¾Ð·Â °ª(»óÅ °ªÀÌ 0ÀÏ ¶§¸¸) |
X = 1 ~ 6 »çÀÌÀÇ Ã¤³Î ¹øÈ£¸¦ ÀÔ·Â |
6091 | Power Up Status | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : »óÅÂ( <Ç¥ 2> ÂüÁ¶ ) | ¸í·É¾î ¸¶Áö¸· ¹®ÀÚ´Â 1 ¶Ç´Â ÀÓÀÇÀÇ ¹®ÀÚ |
60A* | Relay Status | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 :
Parameter, (0 ~ 3 = A ~ D) ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : »óÅ °ª, (4 = Enabled, 3 = Disabled, 19 = Trip) |
X = A, B,
C, D ÁßÀÇ Çϳª, Parameter |
60B* | Alarm Status | ||
60C1 | Current Control Mode | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 :
Over »óÅÂ, ( 0 = No Over, 1 = Override Enabled ) ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : Mode ( 0 = Auto, 2 = Close, 7 = Hold, 12 = Manual, 14 = Open ) |
¸í·É¾î ¸¶Áö¸· ¹®ÀÚ´Â 1 ¶Ç´Â ÀÓÀÇÀÇ ¹®ÀÚ |
60D1 | Current Recipe | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 :
Over »óÅÂ, ( 0 = No Over, 1 = Override Enabled ) ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : Recipe ( 1 ~ 4 »çÀÌÀÇ Recipe) |
|
60E1 | Current PID Set Point | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 :
Type, ( 0 = Analog, 1 = Digitial) ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : Set Point °ª |
|
60F1 | PCS Output | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : PCS Output °ª | |
7011 | Software Version | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Software Version °ª | |
7021 | Channel Status | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 ~ 3 : ä³Î 1 ~ 4 »óÅÂ, STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡´Â
¹®ÀÚ¿ ÀúÀå. (0=ON, 1=OFF, 2=AOFF, 3=DCNT, 4=OVER, 5=UNDR, 6=INIT, 6=ZERO, 8=E1, 9=----) |
|
7031 | Alarm Status | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 ~ 3 :
A ~ D Alarm »óÅÂ, STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡´Â ¹®ÀÚ¿ ÀúÀå. (0=ENAB, 1=ENAL, 2=ENLT, 3=DSBL, 4=----) |
|
7041 | Configuration Setup | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 ~ 4 :
1 ~ 5 Slot »óÅÂ, STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡´Â ¹®ÀÚ¿ ÀúÀå. (0=CC, 1=CLN, 2=C107, 3=C120, 4=CNCN, 5=PRCN, 6=C-, 7=CN--, 8=CNPR, 9=CNTL, 10=AUXO, 11=----, 12=PR--, 13=PRPR, 14=MFC, 15=HCL, 16=HCH, 17=1A) |
|
7051 | Rear Panel Status | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0~3 :
Remote Zero 1~4 ä³Î »óÅÂ, ÀúÀåÀ§Ä¡ + 4~7 : Latch Relay A~D »óÅÂ, ÀúÀåÀ§Ä¡ + 8 : Front Panel Lockout »óÅÂ, ÀúÀåÀ§Ä¡ + 9 : Open value »óÅÂ, ÀúÀåÀ§Ä¡ + 10 : Manual value Control »óÅÂ, ÀúÀåÀ§Ä¡ + 11 : Close »óÅÂ, ÀúÀåÀ§Ä¡ + 12~14 : Set Point B~D »óÅÂ, STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡´Â ¹®ÀÚ¿ ÀúÀå. ( 0=Low(ground), 1=High(5Volts), 2=±âŸ) |
|
7061 | Reference Voltage | ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0~4 : 5°³ÀÇ Calibration ¼ýÀÚ °ª. |
<Ç¥ 1> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àб⠸í·É¾î º° ÀÐÀº °ª ÀúÀåÀ§Ä¡ ¹× ³»¿ë
ºñÆ® | °ª( 16 Áø¼ö ) |
¿¡·¯ »óÅÂ |
¸ðµç ºñÆ® OFF | 00 |
No Errors |
0 | 01 |
Bad Factory Calibration |
1 | 02 |
Bad User Calibration |
2 | 04 |
Bad Zero Calibration |
3 | 08 |
New Configuration |
4 | 10 |
Bad ROM |
5 | 20 |
Bad RAM |
6 | 40 |
Reserved |
7 | 80 |
<Ç¥ 2> 6091(Power Up Status)¸í·É¾î ÀÐÀº °ªÀÇ ºñÆ® º° ÀǹÌ
ÁÖÀÇ) MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹ö·Î ÀÐÀº °ªÀº ÀÚ·áÀúÀå À§Ä¡ WORD/DWORD/FLOAT ¸Þ¸ð¸®¿¡ °°Àº °ªÀÌ( °ª Çü½Ä¸¸ ´Ù¸§ ) ÀúÀåµÈ´Ù. ÀϺΠ¸í·É¾î´Â STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡µµ ÀÐÀº ¹®ÀÚ¿À» ÀúÀåÇÑ´Ù.
<±×¸² 1> ÇÁ·ÎÅäÄÝ ¿É¼ÇºÎÀÇ ¾ÆÀÌÄÜÀ» Ŭ¸¯Çϸé <±×¸² 2>ÀÇ ´ëÈ»óÀÚ°¡ ³ªÅ¸³ª´Âµ¥ ¿©±â¼µµ Àбâ Çü½ÄÀ» ÀÛ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
<±×¸² 2> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àб⠼³Á¤ ´ëÈ»óÀÚ
<±×¸² 2>ÀÇ , , ¹öÅÏ°ú ¸®½ºÆ® ¹Ú½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Àбâ Çü½ÄÀ» ÀÛ¼ºÇÑ´Ù.
<±×¸² 2>ÀÇ ¡®Use BCC Data Filed¡¯ ¿µ¿ª¿¡¼µµ »ç¿ëÇÏ´Â ÇÁ·ÎÅäÄÝÀÇ BCC üũ »ç¿ë¿©ºÎ¸¦ ¼³Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
<±×¸² 3>´Â <±×¸² 2>ÀÇ ´ëÈ»óÀÚ¿¡¼ Àбâ Çü½ÄÀ» Ãß°¡ ¶Ç´Â ÆíÁýÇÒ ¶§ ³ªÅ¸³ª´Â ´ëÈ»óÀÚÀÌ´Ù.
<±×¸² 3> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àб⠼³Á¤ READ Ãß°¡/ÆíÁý ´ëÈ»óÀÚÀÇ ¿¹
¾²±â ¼³Á¤À¸·Î MKS TYPE 146 ½Ã¸®Áî ÀåºñÀÇ ¼³Á¤ °ª µîÀ» º¯°æÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
µðÁöÅÐ ¾²±â
µðÁöÅÐ ¾²±â¸¦ À§ÇÑ µðÁöÅÐ Ãâ·Â ÅÂ±× ¼³Á¤ ½Ã ÇÊ¿äÇÑ ¿ä¼Ò
1) Port ¿¬°áµÈ Åë½ÅÆ÷Æ® ¹øÈ£. (COM ¹øÈ£°¡ ¾Æ´Ô)
2) Station »ç¿ë¾ÈÇÔ.
3) Address »ç¿ë¾ÈÇÔ.
4) Extra1 ¼³Á¤ÇÒ ¸í·É¾î ¹× ¸í·ÉÀÎÀÚ, ù ±¸ºÐ¹®ÀÚ @¿Í ¸¶Áö¸· CR ¹× BCC´Â ÀÔ·Â ¾ÈÇÔ(µå¶óÀ̹ö¿¡¼ ÀÚµ¿ ÀÔ·Â). (<Ç¥ 3> ÂüÁ¶)
5) Extra2 »ç¿ë¾ÈÇÔ.
<Ç¥ 3> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ ¾²±â ¸í·É¾î¿Í ¸í·ÉÀÎÀÚ
¼³Á¤ ¿¹1)
PORT : 0 STATION : 0 ADDRESS : 0000 EXTRA1 : 0812:ON EXTRA2 : 0 À¸·Î ¼³Á¤ÇÏ°í µðÁöÅÐ Ãâ·ÂÀ» Çϸé 0 ¹ø Æ÷Æ®¿¡ ¿¬°áµÈ MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ 2¹ø Channel PowerÀ» ON½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.
¼³Á¤ ¿¹2)
PORT : 0 STATION : 0 ADDRESS : 0000 EXTRA1 : 0812:OFF EXTRA2 : 0 À¸·Î ¼³Á¤ÇÏ°í µðÁöÅÐ Ãâ·ÂÀ» Çϸé 0 ¹ø Æ÷Æ®¿¡ ¿¬°áµÈ MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ 2¹ø Channel PowerÀ» OFF½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.
¾Æ³¯·Î±× ¾²±â
¾Æ³¯·Î±× ¾²±â´Â µðÁöÅÐ ¾²±â¿Í µ¿ÀÏÇÏ°Ô Extra1¿¡ ¸í·É¾î ¹× ¸í·ÉÀÎÀÚ¸¦ ÀÔ·ÂÇÏ¿© MKS TYPE 146 Àåºñ¸¦ ¼³Á¤ÇÑ´Ù.
MKS TYPE 146 ½Ã¸®ÁîÀÇ Åë½ÅÄÉÀÌºí ¹× ±âº»Àü¿øÀº ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ¿¬°áÇÑ´Ù.
Åë½ÅÄÉÀÌºí ¿¬°á
MKS TYPE 146 ½Ã¸®ÁîÀÇ RS-232C Åë½ÅÄÉÀ̺íÀº ÀϹÝÀûÀº Á÷·Ä 9ÇÉ ÄÉÀ̺íÀ» ¿¬°áÇÑ´Ù.
<±×¸² 4>´Â MKS TYPE 146 Àåºñ¿¡ RS-232C Åë½ÅÄÉÀ̺í°ú ±âº»Àü¿ø µîÀ» ¿¬°áÇÑ ¸ð½ÀÀÌ°í <±×¸² 5>´Â MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ ¸ð½ÀÀÌ´Ù.
ÁÖÀÇ) MKS TYPE 146 ÀÇ ½Ã¸®¾ó(RS-232C) Åë½ÅÄÉÀ̺íÀº Á÷·Ä 9ÇÉ ÄÉÀ̺íÀ» ¿¬°áÇØ¾ß Åë½ÅÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
<±×¸² 4> MKS TYPE 146 Àåºñ¿¡ RS-232C Åë½ÅÄÉÀÌºí ¹× ±âº»Àü¿ø µîÀ» ¿¬°áÇÑ ¸ð½À
<±×¸² 5> MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ ¸ð½À
±âº»Àü¿ø ¿¬°á
<±×¸² 4>¿Í °°Àº MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ ±âº»Àü¿ø ÀÔ·Â ºÎ¿¡ 220V(¶Ç´Â 110V) AC Àü¿øÀ» ¿¬°áÇÑ´Ù.
´Ü Àü¿ø ¿¬°á ºÎ À§ÂÊÀÇ ½ºÀ§Ä¡°¡ 230V ·Î ¼³Á¤µÇ¾úÀ» ¶§´Â 220V Àü¿øÀ» ¿¬°áÇÏ°í 110V ·Î ¼³Á¤µÇ¾úÀ» ¶§´Â 110V Àü¿øÀ» ¿¬°áÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
MKS TYPE 146 ½Ã¸®ÁîÀÇ Åë½Å¼Óµµ µîÀº ¾Õ¸é Á¶ÀÛ ¹öÆ°À¸·Î ´ÙÀ½°ú °°Àº ¹æ¹ýÀ¸·Î ¼³Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
1) ¾Õ¸é Á¶ÀÛ ½ºÀ§Ä¡ÀÇ ¡®DISPLAY MODE¡¯ ¹öÆ°À» ¿©·¯ ¹ø ´·¯ ¡®SETUP¡¯ ¸ðµå·Î º¯°æÇÑ´Ù.
2) È¸é ¿ÞÂÊ À§ÂÊÀÇ ¼ýÀÚ°¡ Á¡¸êÇÒ ¶§±îÁö »óÇÏ ¹æÇâ ¹öÆ°À» ¿©·¯ ¹ø ´©¸¥´Ù.
3) ¼ýÀÚ°¡ Á¡¸êÇÒ ¶§ ¡®5¡¯¹ø ¹öÆ°À» ´©¸£¸é ¡®9600¡¯ µî°ú °°Àº Åë½Å¼Óµµ°¡ Ç¥½ÃµÈ´Ù.
4) ÀÌ »óÅ¿¡¼ ¡®ENTER¡¯ ¹öÆ°À» ´©¸£¸é Åë½Å¼Óµµ°¡ Á¡¸êµÈ´Ù.
5) Åë½Å¼Óµµ Á¡¸ê»óÅ¿¡¼ »óÇÏ ¹öÆ°À» ´©¸£¸é Åë½Å¼Óµµ°¡ 300, 1200, 2400, 4800, 9600 ¼øÀ¸·Î º¯°æµÈ´Ù.
6) »ç¿ëÇÒ Åë½Å¼Óµµ¸¦ ¼±ÅÃÇÏ°í ¡®ENTER¡¯¹öÆ°À» ´©¸£¸é ¡®146¡¯(¶Ç´Â DL) ±ÛÀÚ°¡ Á¡¸êµÈ´Ù.
7) »ç¿ëÇÒ ÇÁ·ÎÅäÄÝ Á¾·ù¸¦ ¡®146¡¯À¸·Î ¼±ÅÃÇÏ°í ¡®ENTER¡¯ ¹öÆ°À» ´©¸£¸é ¡®7E¡¯ µî°ú °°Àº µ¥ÀÌÅÍ/Æи®Æ¼ºñÆ® ±ÛÀÚ°¡ Á¡¸êµÈ´Ù.
8) µ¥ÀÌÅÍ ºñÆ®´Â ¼ýÀÚ 7 ¶Ç´Â 8 ¹öÆ°À» ´·¯¼ ¼³Á¤ÇÏ°í Æи®Æ¼ ºñÆ®´Â »óÇÏ ¹æÇâ¹öÆ°À» ´·¯¼ EVEN/ODD/NONE Áß¿¡¼ ¼±ÅÃÇÑ´Ù.
9) ¡®DISPLAY MODE¡¯ ¹öÆ°À» ´·¯¼ ¼³Á¤À» Á¾·áÇÑ´Ù.